加工單元可能是工廠中最危險的區域。首先應該匯集這個區域的一級危險，找出毒性或易燃物質、高溫、高壓、火源等。這些地方有很多機械設備，容易發生故障，加上人員可能的失誤而使其充滿危險。在安全方面惟一可取之處是通常過程單元人員較少。

 加工單元應該離開工廠邊界一定的距離，應該是集中而不是分散的分布。后者有助于加工單元作為危險區的識別，杜絕或減少無關車輛的通過。要注意廠區內主要的火源和主要的人口密集區，由于易燃或毒性物質釋放的可能性，加工單元應該置于上述兩者的下風區。過程區和主要灌區有交互危險性，兩者最好保持相當的距離。

過程單元除應該集中分布外，還應注意區域不宜太擁擠。因為不同過程單元間可能會有交互危險性，過程單元間要隔開一定的距離。特別是對于各單元不是一體化過程的情形，完全有可能一個單元滿負荷運轉，而鄰近的另一個單元正在停車大修，從而使潛在危險增加。危險區的火源、大型作業、機器的移動、人員的密集等都是應該特別注意的事項。

目前在化學工業中，過程單元間的間距仍然是安全評價的重要內容。對于過程單元本身的安全評價，比較重要的因素有：①操作溫度；②操作壓力；③單元中物料的類型；④單元中物料的量；⑤單元中設備的類型；⑥單元的相對投資額；⑦救火或其他緊急操作需要的空間。